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圖（４）Probe Card---乃是Tester與wafer上的DUT之間其中一個(gè)連接介面，目的在連接Tester Channel 與待測(cè)DUT。大部分為鎢銅或鈹銅，也有鈀等其他材質(zhì)；材質(zhì)的選擇需要高強(qiáng)度、導(dǎo)電性及不易氧化等特性，樣子如下面圖（5）所示。 圖（5） 當(dāng) probe card 的探針正確接觸wafer內(nèi)一顆 die的每個(gè)bond pads后, 送出start信號(hào)通過(guò)Interface給tester開(kāi)始測(cè)試, tester完成測(cè)試送回分類訊號(hào) ( End of test) 給Prober, 量產(chǎn)時(shí)必須 tester 與 prober 做連接(docking) 才能測(cè)試。 最終測(cè)試(FT,或者封裝測(cè)試)：就是在圖（3）中的Package Device上進(jìn)行測(cè)試.下圖就是一個(gè)完整的FT的測(cè)試系統(tǒng)。對(duì)比wafer test，其中硬件部分，prober換成了handler，其作用是一樣的，handler的主要作用是機(jī)械手臂，抓取DUT，放在測(cè)試區(qū)域，由tester對(duì)其進(jìn)行測(cè)試，然后handler再根據(jù)tester的測(cè)試結(jié)果，抓取DUT放到相應(yīng)的區(qū)域，比如好品區(qū)，比如壞品1類區(qū)，壞品2類區(qū)等。 圖（6） 而probe card則換成了load board,其作用是類似的，但是需要注意的是load board上需要加上一個(gè)器件—Socket,這個(gè)是放置package device用的，每個(gè)不同的package種類都需要不同的socket，如下面圖（7）所示，load board上的四個(gè)白色的器件就是socket。 圖（7）Handler 必須與 tester 相結(jié)合(此動(dòng)作叫 mount 機(jī))及接上interface才能測(cè)試, 動(dòng)作為handler的手臂將DUT放入socket，然后 contact pusher下壓, 使 DUT的腳正確與 socket 接觸后, 送出start 訊號(hào), 透過(guò) interface 給 tester, 測(cè)試完后, tester 送回 binning 及EOT 訊號(hào); handler做分類動(dòng)作。4如何進(jìn)行一個(gè)產(chǎn)品的測(cè)試開(kāi)發(fā)各種規(guī)格書(shū)：通常有三種規(guī)格書(shū)，設(shè)計(jì)規(guī)格書(shū)、測(cè)試規(guī)格書(shū)、產(chǎn)品規(guī)格書(shū)。設(shè)計(jì)規(guī)格書(shū)，是一種包含新電路設(shè)計(jì)的預(yù)期功能和性能特性的定義的文檔，這個(gè)需要在設(shè)計(jì)項(xiàng)目啟動(dòng)階段就要完成，通常由市場(chǎng)和設(shè)計(jì)人員共同完成，最終設(shè)計(jì)出來(lái)的產(chǎn)品的實(shí)際功能和性能需要和設(shè)計(jì)規(guī)格書(shū)的規(guī)定進(jìn)行比較，以確認(rèn)本次設(shè)計(jì)項(xiàng)目的完成度。測(cè)試規(guī)格書(shū)，其中包含詳細(xì)的逐步測(cè)試程序、條件、方法，以充分測(cè)試電路，通常由設(shè)計(jì)人員和產(chǎn)品驗(yàn)證工程師在設(shè)計(jì)過(guò)程中完成。產(chǎn)品規(guī)格書(shū)，通常就是叫做datasheet，由設(shè)計(jì)公司對(duì)外發(fā)布的，包含了各種詳細(xì)的規(guī)格、電壓、電流、時(shí)序等信息。 測(cè)試計(jì)劃書(shū)：就是test plan,需要仔細(xì)研究產(chǎn)品規(guī)格書(shū)，根據(jù)產(chǎn)品規(guī)格書(shū)來(lái)書(shū)寫(xiě)測(cè)試計(jì)劃書(shū)，具體的需要包含下面這些信息：a)DUT的信息，具體的每個(gè)pad或者pin的信息，CP測(cè)試需要明確每個(gè)bond pads的坐標(biāo)及類型信息，F(xiàn)T測(cè)試需要明確封裝類型及每個(gè)pin的類型信息。b)測(cè)試機(jī)要求，測(cè)試機(jī)的資源需求，比如電源數(shù)量需求、程序的編寫(xiě)環(huán)境、各種信號(hào)資源數(shù)量、精度如何這些，還需要了解對(duì)應(yīng)的測(cè)試工廠中這種測(cè)試機(jī)的數(shù)量及產(chǎn)能，測(cè)試機(jī)費(fèi)用這些。c)各種硬件信息，比如CP中的probe card, FT中的load board的設(shè)計(jì)要求，跟測(cè)試機(jī)的各種信號(hào)資源的接口。d)芯片參數(shù)測(cè)試規(guī)范，具體的測(cè)試參數(shù)，每個(gè)測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試條件及參數(shù)規(guī)格，這個(gè)主要根據(jù)datasheet中的規(guī)范來(lái)確認(rèn)。類型與下面圖（8）這樣 圖（8） e)測(cè)試項(xiàng)目開(kāi)發(fā)計(jì)劃，規(guī)定了具體的細(xì)節(jié)以及預(yù)期完成日期，做到整個(gè)項(xiàng)目的可控制性和效率。 測(cè)試項(xiàng)目流程：桃芯科技目前量產(chǎn)的是BLE的SOC產(chǎn)品，里面包含了eflash、AD/DA、 LDO/BUCK、RF等很多模塊，為了提供給客戶高品質(zhì)的產(chǎn)品，我們針對(duì)每個(gè)模塊都有詳細(xì)的測(cè)試，下面圖（9）是我們的大概的項(xiàng)目測(cè)試流程：

Open/Short Test: 檢查芯片引腳中是否有開(kāi)路或短路。

DC TEST: 驗(yàn)證器件直流電流和電壓參數(shù)

Eflash TEST: 測(cè)試內(nèi)嵌flash的功能及性能，包含讀寫(xiě)擦除動(dòng)作及功耗和速度等各種參數(shù)。

Function TEST: 測(cè)試芯片的邏輯功能。

AC Test: 驗(yàn)證交流規(guī)格，包括交流輸出信號(hào)的質(zhì)量和信號(hào)時(shí)序參數(shù)。

Mixed Signal Test: 驗(yàn)證DUT數(shù)?；旌想娐返墓δ芗靶阅軈?shù)。

RF Test: 測(cè)試芯片里面RF模塊的功能及性能參數(shù)。